HISEMI TEXNOLOGIYASI
Yaqinda HISEMI TECHNOLOGY yangi avlod er-xotin stantsiyali laboratoriya nozik silliqlash va polishing uskunalarini rasman chiqardi. Yangi mahsulot uchinchi avlod yarimoʻtkazgichlar, optik kristallar va maxsus keramika kabi qattiq va moʻrt materiallar uchun-mahalliy ilmiy tadqiqotlarda yuqori aniqlikdagi namunalar tayyorlash uskunalarini mahalliylashtirishdagi boʻshliqni toʻldirish uchun kichik partiyalar namunalarini maydalash va jilolash stsenariylariga qaratilgan.
Yangi yarimo'tkazgichli materiallarning rivojlanishi nozik silliqlash va parlatish uchun talabni oshirdi
Kremniy karbid (SiC) va galiy nitridi (GaN) kabi uchinchi avlod yarimo'tkazgichlar sanoatining- jadal kengayishi bilan yirik universitetlar, ilmiy-tadqiqot institutlari va yarimo'tkazgich korxonalari ilmiy-tadqiqot laboratoriyalari taglik tekisligi, qalinligi aniqligi va sirt pürüzlülüğü ko'rsatkichlariga bo'lgan talablarini doimiy ravishda takomillashtirmoqda. An'anaviy bitta stantsiyali silliqlash uskunalari past ishlov berish samaradorligi, notekis bosim nazorati va jarayonning yomon takrorlanishi kabi og'riqli nuqtalarga ega. Import qilingan nozik silliqlash uskunalari, shuningdek, yuqori xarid xarajatlari, uzoq xizmat ko'rsatish davrlari va sozlash va o'zgartirishdagi qiyinchiliklar kabi muammolarga ega. Mahalliy yangi materiallarni tadqiq qilish va ishlab chiqishning haqiqiy ehtiyojlaridan kelib chiqqan holda, Hemei Semiconductor nozik silliqlash uskunalarini tadqiq qilish va ishlab chiqish bo'yicha ko'p yillik tajribaga tayanadi, strukturaviy dizaynni iterativ ravishda optimallashtiradi va ushbu ikkita stantsiyali aqlli nozik silliqlash va polishing mashinasini amalga oshiradi.
Ikki stansiya dizayni jarayon samaradorligini oshirishga erishadi
1. Mustaqil er-xotin stansiya dizayni: Uskuna ikkita mustaqil ish stantsiyalari bilan jihozlangan va moslashtirilgan armatura (Jjg) raqamli qalinligi monitoringi moduli bilan jihozlangan bo'lib, u 1 m m aniqlik va sozlanishi armatura bosimi bilan namunaning silliqlashini olib tashlash miqdorini real vaqt rejimida kuzatishi mumkin. Ikki stansiya dizayni bir vaqtning o'zida diskning shaklini qayta ishlashi va sozlashi mumkin, shuningdek, bir vaqtning o'zida an'anaviy bitta mashinani qayta ishlashga qaraganda deyarli ikki baravar samaraliroq bo'lgan ko'proq miqdordagi namunalarni qayta ishlashi mumkin.
2. Aqlli sensorli jarayonni boshqarish tizimi Huichuan INOVANCE sanoat sensorli operatsion tizimini qabul qiladi, bu silliqlash jarayoni formulalarining bir nechta to'plamini saqlash va olishni qo'llab-quvvatlaydi. U silliqlash diskining tezligini, silliqlash vaqtini, bosim yukini va silliqlash suyuqligining buzadigan amallar parametrlarini to'g'ri sozlashi va bir marta bosish bilan etuk jarayonlarga osongina kirishi mumkin, bu inson xatosini sezilarli darajada kamaytiradi va namunani qayta ishlashda izchillikni ta'minlaydi.
3. Nozik suyuqlik ta'minoti tizimi 2 ta mustaqil silliqlash suyuqligi tomchilari quvurlari bilan standart bo'lib, ular silliqlash jarayoniga ko'ra real vaqt rejimida olmosli silliqlash suyuqligi va alumina abraziv suyuqlik kabi sarf materiallarini etkazib bera oladi, sirt silliqlash muhitini optimallashtiradi, gofret qirrasining sinishi va tirnalishini samarali kamaytiradi va har xil turdagi qattiq va mo'rt va mo'rt qatlamlarga moslashadi, masalan, silicon siliconli va mo'rt va mo'rt silicon siliconli vaftlar. keramika va boshqalar.
4. Xavfsizlikni standartlashtirish tanasi dizayni: Uskuna favqulodda to'xtash xavfsizligi tugmasi va quvvatni himoya qilish tugmasi bilan jihozlangan zangga chidamli korpusni qabul qiladi. Struktura ixcham va kichik maydonni egallaydi, laboratoriya peshtaxtasini joylashtirish muhitiga mukammal moslashadi, uskunaning barqarorligi va ish xavfsizligini muvozanatlashtiradi.
Bir nechta sohalarni qamrab olgan tadqiqot namunalarini tayyorlash
Ushbu yangi qurilma asosan uchta asosiy dastur sohasiga qaratilgan:
1. Uchinchi avlod yarimo'tkazgichlarni tadqiq qilish va ishlab chiqish: SiC / GaN substratni yupqalash, oynani parlatish, materialning fizik-kimyoviy xususiyatlari va elektr xususiyatlarini sinovdan o'tkazishdan oldin namuna tayyorlash uchun ishlatiladi;
2. Optika va kristall sanoati: optik qoplama va yorug'lik o'tkazuvchanligi ko'rsatkichlarini sinovdan o'tkazish namunalari ehtiyojlarini qondirish uchun optik shisha, safir substratlar va kvarts kristalining so'nggi yuzlarini nozik polishing;
3. Yangi materiallarning tadqiqot sohasi: alumina keramikasi, litiy niobat, galliy arsenid, olmosli kompozit materiallar va boshqalar kabi noorganik metall bo'lmagan maxsus{1}}materiallarni silliqlash va sayqallash.
Nozik silliqlash uskunalarini mahalliy almashtirish jarayonini tezlashtirish
Ilgari Xitoyda yuqori{0}}laboratoriya nozik silliqlash uskunalari uzoq vaqtdan beri Yevropa, Amerika va Yaponiyadan import qilingan modellarga tayanib kelgan. Hemei Semiconductor tomonidan ushbu ikki tomonlama stansiya silliqlash va parlatish mashinasining amalga oshirilishi shunga o'xshash import qilinadigan mahsulotlarni qayta ishlashning aniqligi va aqlli nazorati nuqtai nazaridan taqqosladi, shu bilan birga xarid qilish va operatsiyadan keyingi xarajatlarni sezilarli darajada kamaytiradi. Uskunalar Xitoyning bir nechta Double First Class universitetlarida, jumladan Materialshunoslik va texnologiya maktabida, Uchinchi avlod yarimo'tkazgichlarning asosiy laboratoriyasida va etakchi quvvat yarimo'tkazgich korxonalarining ilmiy-tadqiqot markazida sinovdan o'tkazildi.
Sanoat tahlillari shuni ko'rsatadiki, Xitoyda uchinchi avlod yarimo'tkazgichlar va ilg'or optik materiallarni mahalliylashtirish jarayonining jadallashuvi bilan-laboratoriya aniqlikdagi dastlabki ishlov berish uskunalarini mahalliylashtirishga talab ortib bormoqda. Mahalliy asbob-uskunalar ishlab chiqaruvchilari o'z texnologiyalarini takrorlashda davom etmoqdalar, bu esa xorijdagi brendlarning monopoliyasini yanada buzadi va mahalliy yarimo'tkazgichlarni qo'llab-quvvatlovchi yangi materiallar sanoati zanjirini yaxshilaydi.
