Qanday qilib o'ng qonli lapping va podiring mashinasini tanlash
Yuqori - kattalar Omeriking ishlab chiqarish olamida, to'sig'i preparatining sifati birinchi darajali. Lapping va parlatish jarayonlari - bu oqsoqqa, kamchilikka, {2} {{2} {{2} {{2} {{2} {{2} {{2} {{2} {{2} {{2} - litrografiyani tayyorlaydigan muhim qadamlardir. Ushbu vazifalar uchun to'g'ri mashinani tanlash shunchaki sotib olinmaydi; Bu hosildorlik, ishlashi va ishlab chiqarish xarajatlariga bevosita ta'sir ko'rsatadigan strategik sarmoyadir.
Ideal uskunalarni tanlash mashinaning imkoniyatlariga nisbatan aniq ehtiyojlaringizni sinchkovlik bilan tahlil qilishni talab qiladi. Bu erda e'tiborga olishning asosiy omillari.
1. Sizning asosiy dastur va materiallaringizni aniqlang
Birinchi va eng muhim qadam - bu nimani qayta ishlashingizni aniqlashdir. Talablar ancha moddiy va yakuniy maqsadga asoslanadi.
Maqsad.
WAFF turi:Siz an'anaviy kremniy (Si), silikon karbidi (SIC) yoki Gan Nitrid (GAN) yoki Gangli ARSENDED (GAA) kabi mo'rt materiallar bilan ishlaysizmi? Qattiq materiallar ma'lum bir abraziv plyures bilan kuchli, kuchli mashinalar ko'proq talab qiladi.
JarayoniJarayon maqsadlari:- bu faqat uchun ob'ektivingichka(masalan, quvvat qurilmalari yoki 3D integratsiyasi uchun quvvat uchun) yoki unga erishish uchunEPI - atomik - darajadagi mukammallik bilan tayyor sirtmi? Lapping - bu tezkor materialni olib tashlash va ingichka qilish uchun juda zo'r, parlatish paytida (ayniqsa kimyoviy mexanik parlatish)
- CMP) Ultra - silliq, zarar - zararsiz yuzalar uchun zarurdir.
Qurilma turi:Memma qurilmalariga qo'yiladigan talablar ilg'or mantiqiy chiplar yoki fotonika integratsiyalashgan mikrosxemalar uchun farq qiladi.
2. Tanqidiy ishlash ko'rsatkichlarini tushuning
Mashinaning asosiy funktsiyasi aniq texnik xususiyatlarni qondirish qobiliyati bilan belgilanadi. Kalitlarning asosiy ko'rsatkichlari quyidagilardan iborat:
Yakuniy qalinlik & ttv (umumiy qalinlik o'zgarishi):Maqsadli qalinligingiz nima? Mashinalar mashinalari buni minimal TTV bilan izchil bajarishi kerak. Sog'liqni saqlash, bosimni boshqarish va tashuvchilarning butun voizi bo'ylab bir xillikni ta'minlash uchun ma'lum bo'lgan tizimlarni qidirish.
Sirt pürüzlülme (RA):Angstromlar (Å) yoki NM) tomonidan o'lchanadi, bu silliqlikni aniqlaydi. Pautalish mashinasi sizning texnologiyangiz tuguningizni er usti tuguningizni etkazib berishga qodir bo'lishi kerak - tez-tez ilg'or arizalar uchun - tez-tez tug'ruq qiymatlarini talab qiladi.
Moddiyni olib tashlash darajasi (MRR):Bu taxmin qiladi. Yuqori mrr mahsuldorlik uchun maqsadga muvofiqdir, ammo - - sirt shikastlanishiga qarshi muvozanatli bo'lishi kerak. Mashina sozlanadigan bosim, platin tezligi va slurry oqim orqali nazorat qilinadigan mrrni taklif qilishi kerak.
3. Hisobni baholang va avtomatlashtirish ehtiyojlari
Ishlab chiqarish hajmi - bu xarajatlar va konfiguratsiyaning asosiy omili.
R & D va yuqori - Ovozli ishlab chiqarish (HVM):
UchunR & D yoki uchuvchi liniyalari, moslashuvchanlik kalitdir. Ovice {{1} Avtomatik yoki bitta - WAXSE vosita tez-tez retsepti va jarayonni rivojlantirishga imkon beradi.
UchunHomiyKasseta - kassetasi bilan to'liq avtomatlashtirilgan, yuqori - kassetasi bilan ishlash uchun ustuvorliklar, situ monitoringi va yuqori ish vaqti.
Paketni qayta ishlash va bitta {{1} waster:Party tizimlari bir vaqtning o'zida bir necha marta yig'ishni qayta ishlashi mumkin. Yagona - Wecfer vositalarida ko'pincha -} bosh tugunlari uchun eng muhim bo'lgan har bir kishiga juda muhimdir.
4. Texnik xususiyatlarni ko'rib chiqing
Mashinaning o'zi muhandislik ma'lumotlariga sho'ng'ing:
Platen va tashuvchi dizayni:Multi - platin konfiguratsiyalari bitta tsiklda qo'pol polishing, nozik parlatish va tozalash imkonini beradi. Tashiruvchi befarozlarni sirpanmasdan yoki buzmasdan ushlab turishi kerak (masalan, vakuumli chucks yoki mumi moslamalaridan foydalanish).
Bosim va tezlikni boshqarish:Oldindan, pastga va aylanish tezligi ustidan dasturlashtiriladigan nazorat, prestdon tenglamasini qaytarish va baz'ul × bosimli × tezlikni) optimallashtirish uchun zarurdir.
Plitry etkazib berish tizimi:Barqaror natijalar uchun bepul plitka etkazib berish bo'yicha izchil, forma va kloog - - emas. Tizim kislotali va ishqorli emissiyalarga tegishli korroziyalarga chidamliligi bilan ishlay oladi.
Begona uchrashuvni aniqlash:Ilg'or tizimlar sensorlardan (masalan, optik, motorli moment) kerak bo'lganda, yo'q qilish, yo'q qilish uchun kerakli qalinlik yoki sirt holati
- Yoki - ostida - postga bog'liqlik va jarayonlar o'lchovi.
5. Mulkning umumiy narxini ko'rib chiqing (TCO)
Dastlabki xarid narxi hikoyaning faqat bir qismidir. Tco tahlili quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Iste'mol qilinadigan xarajatlar:Polishish prokladkalarining davomiyligi, yostiqlar, shilliqlar, olmos disklari va uzuklarni saqlash omilligi.
Kommunal foydalanish:Quruq quruq havo (CDA), quvvat va ultramiya suvi (UPW) uchun mashina talablarini baholang.
Ta'minot va xizmat ko'rsatish:Muvaffaqiyatsizliklar orasidagi kutilgan o'rtacha vaqt qanday? Ta'minotchi ishonchli texnik yordam, tezkor ehtiyot qismlar va xizmatlarning keng qamrovli shartnomalarini taklif qiladi.
Iz izi:Tekshiruv xonasida bo'sh joy qimmat. Ixcham, samarali izlar muhim ustunlikdir.
6. Sotuvchi obro'sini va qo'llab-quvvatlashini baholang
Mashina faqat uning orqasida joylashgan kompaniya kabi yaxshi.
Tasdiqlangan trek yozilishi:Kuchli tarixga ega bo'lgan sotuvchini tanlang va aniq dasturxonangizda bazani o'rnating.
Xizmat va o'qitish:Yuqori - Sizning operatorlaringiz va xizmat ko'rsatish xodimlari uchun sifatli o'qitish mashinani maksimal darajada maksimal darajada maksimal darajada oshirish va izchillikni oshirish uchun juda muhimdir.
Ehtiyot qismlar mavjudligi:Tanqidiy ehtiyot qismlarni kamaytirish uchun muhim ehtiyotkorlik bilan mavjudligini tekshiring.
Xulosa
To'g'ri vujudga keladigan va polishing mashinasini tanlash ko'p {{0}- - texnik talablar, operatsion samaradorligi va uzoq - moliyaviy mulohazalarining o'zgarishi. Sizning arizangiz ehtiyojlarini muntazam ravishda baholab, zarur ish joylari, maqsadlarni o'tkazish va mulkchilikning umumiy qiymati, siz xabardor tanlov qilishingiz mumkin. Mos ravishda qo'llab-quvvatlaydigan nufuzli sotuvchi bilan hamkorlik qilish sizning investitsiyalaringiz elektron qurilmalarning keyingi avlodini quvvatlantirish uchun zarur bo'lgan benuqson mo''tadillarni etkazib beradi.
