Mukammallikni ta'qib qilish: Qanday qilib fleksi va parolimdagi mashinalar atomiga qarshi turadi - darajasi tekislikka erishadi
Yarimo'tkazgichlar yurak markazida oddiy, ammo chuqur tanqidiy parametrlar: sirt tekisligi yotadi. Milliardlab tranzistiklarni silikatka o'ralgan mikrochi uchun, hatto mikroskopik nomukammallik tog ', tog', tuman yo'llarini buzish va foydasiz qurilmasligini ta'minlashi mumkin. Fabning inflol qahramonlari, fab noka qahramonlari va poligonli mashinalar {{3} {}} {{3} Ikki - keskin jarayoni keskin jarayoni orqali ular qo'pol, oyna uchun {{6} {{6} {{{6} {{{6} {{{6} {{{6} {{{6} {{{6} {{{6} {{{6} {{{6} {{{6} {- Litografiyani ijaraga berardi.
Nima uchun tekislik -
Fotolitografiyada, platforma naqshlarini bosib chiqarish jarayoni murakkab linzalar tizimi orqali gofretka loyihasi hisoblanadi. Mukammal tekislikdan har qanday og'ish, rasmni fokusdan tashqari turli xil nuqtalarda otadi. Yuqori - yuqori - yuqori - yuqori qismida yassi ekran o'rniga maydalangan varaqqa egaligini tasavvur qiling; Natijada xira va buzilgan bo'lar edi. Zamonaviy ekstremal ultrabinafsha (Euv) Litografiye uchun o'zining ulkan sayoz chuqurligi bilan, global tekislikka bo'lgan talab har qachongidan ham yanada qattiqroqdir, ulardan 300 mm differadan kamroq vaqtni talab qiladi.
1-bosqich: Lapping - Makroskopik aniqlik san'ati
Sayohat bitta - CRESTEAL INGNED-dan kelib chiqqandan so'ng, uning yuzasi shikastlangan, izoh va parrandaga ega bo'lgan xom hamyondan boshlanadi. Lapping bu makroskopik nomukammallikni tuzatishga bag'ishlangan tajovuzkor birinchi qadam.
Mexanizm:
Qoplama mashinasi ikkita katta, qarama-qarshi plitalar (lapping plitalari) bo'lgan aniq tashuvchilarga bir yoki ko'p mish-darmonlarni ushlab turadi. Odatda - suyuqlikda to'xtatilgan alyuminiy oksidi yoki kremniy karbin zarralarini o'z ichiga olgan abraziv atirlar - bu plitalar orasida oziqlanadi. Yuqori va pastki plitalar aylanishi kabi, tashuvchini yig'gichlarga sayyora sayyorasi harakatini ishlab chiqaradi, butun yuzasi butun yuzasida bir xil materiallarni olib tashlashni ta'minlaydi.
Lappingda tekislikka erishish:
1. Ikki - qirq materialni olib tashlash:Yagona - dan farqli o'laroq, ikkala tomonning ikkala tomonida bir vaqtning o'zida silliqlash stresslarni olib keladi va ta'zim va echib, burilishni oldini oladi.
2. Plastinka tekisligi:Lapping plitalari juda kvartiraga aylandi. Onalarda plastinkada og'ish kerak edi.
3. Boshqariladigan bosim va ozuqa:Mashina aniq kalibrlangan bosimni to'ldiradi va abraziv atari oqimini nazorat qiladi, deb taxmin qilinadigan va hatto fondni olib tashlashga imkon beradi. Bu erda gol bu erda passiv emas, balki geometrik mukammal emas, ammo geometrik mukammal bitta - qalinlik o'zgarishi (TTV) va izchil bazaga erishishga erishish.
Lappingdan so'ng, gofret tekis, ammo shikastlangan. Ajratish harakati sezgir elektron komponentlarni qurish uchun yaroqsiz mikrofraktsiyalar va stresslarga to'la er osti qatlamini to'ldiradi.
2-bosqich: Polishing - Nanoskale silliqligiga yo'l
Moyquv bilan shikastlangan, motni sirtni kimyoviy toza, motorli tekislik, atom silliq oynasiga aylantiradigan joyni parlatishni kuchaytiradi. Eng keng tarqalgan va tanqidiy usul kimyoviy mexanik parlatish (CMP).
CMP mexanizmi:
Ayub rangni aylantiradigan {{0} {{0} {{0} {{1} {{1} {{1} {{1} {{1}- ustiga aylanuvchi pooring postiga o'rnatiladi. Murakkab kimyoviy atala yostiqqa chiqariladi. Ushbu atala - bu CMPning muvaffaqiyatining kaliti, ikki tomonlama rolni ijro etish:
Kimyoviy harakatlar:Silikon uchun alkaline echimini (masalan, kolloid kremloid kremical eritmasi) silikonning alkale echimini yumshatadi va olib tashlash osonroq bo'lgan passivatsiya plyonkasini yaratadi va reaktsiya qiladi.
Mexanik harakat:Atahda abraziv nanoparulalar (endi juda yaxshi) va poyaching yostig'ining ta'sirchanligi yumshatilgan materialni olib tashlaydi.
Ushbu sinergik kombinatsiya yangi suburaka zararini joriy qilmasdan materialni olib tashlashga imkon beradi.
Pirazzollikdagi yakuniy tekislikka erishish:
1. Multi - zonaviy tashuvchi bosimi:Mashhur parolimdagi boshlar mustaqil bosim zonalariga ega. Dofilning chekkasida bosimni jadal sozlash orqali, tizimning qolgan xatolari, tekislikdagi xatolarni to'g'rilash va markazdan eng chetiga olib tashlashni ta'minlash.
2. - Situ metrologiya:Real - Vaqtni o'tkazish tizimlari moddiy olib tashlash stavkalarini kuzatishi va pashsha parametrlarini kuzatishi va jarima parametrlarini kuzatishi, har qanday siljish va uni o'ldirish uchun majburiylikni qoplashi mumkin.
3. Pad konditsioner:Polishing paytida yostiq mahsulotni buyurtma qiladi. Diamond - - ürstiv bilan integratsiyalangan qo'llar doimiy "re- barqaror olib tashlash stavkalari va bir xillik uchun kuchli" Rad {- ni o'zgartiradi.
4. Slurry boshqaruvi:Slurry kimyoni, harorat va oqim stavkasi bo'yicha aniq nazorat qilish juda muhimdir. Har qanday farqni - forma-ga olib kelishi mumkin yoki "" ishtiyor "yoki" ishqiboz ", mahalliy davriylikni yo'q qilish.
Xulosa: muhandislik simfoniyasi
Mukammal qimmatbaho makonga erishish yagona mo''jizaviy mashinaning natijasi emas, balki aniq muhandislik, kimyo va boshqarish simfonligi. Lapping asosli geometrik kvadrat, - Dalu {{2} - aşınma ostida. Sholangizni kimyoviy reaktivent va mexanik kuchning nozik muvozanati orqali atomini atomir - darajasini atomir -} darajasiga ko'taradi. Birgalikda, bu jarayonlar har bir faxrning mukammal kvartirasi, nuqsonli, - bepul tuval, raqamli dunyoning doimiyligini ta'minlaydi. Bu ortasiz - - sahna Murakkab, Mur qonunining bebaho yurishi to'xtaydi.
