Yarimo'tkazgich, mikroelektronika va yangi energiya sanoatining tez takrorlanishi bilan o'tkazgich gofretlari chip ishlab chiqarish, quvvat qurilmalari va optoelektronik komponentlar uchun asosiy materialga aylandi. Supero'tkazuvchilar gofretlarning sirt tekisligi, qalinligi bir xilligi va sirt pürüzlülüğü to'g'ridan-to'g'ri quyi oqimdagi elektron mahsulotlarning ishlashi, barqarorligi va xizmat qilish muddatini aniqlaydi. An'anaviy gofretni qayta ishlash uskunalari past avtomatizatsiya, past ishlov berish aniqligi, beqaror qo'lda ishlashning barqarorligi va past rentabellik kabi jiddiy og'riqli nuqtalarga duch keladi, ular endi yuqori{2}}o'tkazgichli gofretlarning yuqori{2}}standart ishlov berish talablariga javob bera olmaydi. Sanoatdagi qiyinchiliklarni bartaraf etish uchun qayta ishlashning aniqligi, ishlab chiqarish moslashuvchanligi va tejamkorlik jarayonining ishonchliligini mukammal darajada muvozanatlashtiradigan nozik mexanik boshqaruv, aqlli aniqlash va inson{6}}mashinaning hamkorlikdagi ishlashini o‘zida mujassam etgan o‘tkazgichlar uchun yangi takomillashtirilgan yarim{5}}parchalash va silliqlash uskunasi ishga tushirildi. ishlab chiqaruvchilar.
Asosiy dizayn va ish printsipi
Ushbu yangi yarim avtomatik gofret silliqlash va jilolash uskunasi kremniy, germaniy, galliy arsenid va kremniy karbid kabi o'tkazuvchan materiallarni qayta ishlash xususiyatlari uchun maxsus optimallashtirilgan. U avtomatlashtirilgan silliqlash, doimiy{4}}bosim bilan jilolash, haqiqiy-vaqt qalinligini aniqlash va parametrlarni aqlli sozlashni amalga oshiruvchi, moslashuvchan disk raskadrovka va maxsus gofretni qayta ishlash uchun qo'lda aralashuv funksiyalarini saqlab qolgan holda, yarim avtomatik inson-mashinaning birgalikdagi ish rejimini qabul qiladi. Yuqori xarajatli va past moslashuvchanlikka ega to'liq avtomatik uskunalardan va past aniqlikdagi an'anaviy qo'lda ishlaydigan uskunalardan farqli o'laroq, u yuqori aniqlik va yuqori moslashuvchanlikning organik integratsiyasini amalga oshiradi.
Uskuna ultra{0}}tekis nozik silliqlash va abraziv plitasi va boʻlingan bir xil{1}}bosimli polishing boshi bilan jihozlangan. Yopiq pastadir bosimini nazorat qilish texnologiyasi- orqali u gofret yuzasida bosimning bir xil taqsimlanishini amalga oshiradi, bu esa gofretning burishishi, qirralarning yiqilishi va notekis sayqallanishining oldini oladi. Oʻrnatilgan-yuqori{6}}aniqlikdagi-joy qalinligini oʻlchash datchiklari va oxirgi nuqtani aniqlash tizimlari ishlov berish jarayonida gofret qalinligi va materialni olib tashlash tezligini real vaqtda kuzatishi, silliqlash tezligini, abraziv vaqtni va abraziv oqimini avtomatik sozlashi va ishlov berishning yakuniy nuqtasini toʻgʻri qulflashi, har bir vafli ishlov berish uchun mikron-ac. Bundan tashqari, mustaqil avtomatik kiyinish tizimi disk yuzasini tekis va barqaror ushlab turish uchun silliqlash va silliqlash diskini muntazam ravishda kesishi mumkin, bu esa uskunaning uzoq muddatli va izchil ishlashini taʼminlaydi.
Asosiy texnik afzalliklar
1. Ultra{1}}Yuqori ishlov berish aniqligi va barqarorligi
Nozik harakatni boshqarish platformasi va yuqori sezuvchanlikni aniqlash komponentlari- tomonidan qo‘llab-quvvatlanadigan uskuna juda qattiq ishlov berish ko‘rsatkichlariga erishadi. Gofret qalinligi bardoshliligi ± 1 mkm ichida nazorat qilinadi, silliqlashdan keyin sirt pürüzlülüğü oyna darajasiga etadi va tekislik xatosi juda past. U gofretni kesish jarayonida hosil bo'lgan sirt shikastlanish qatlamini va mikro{4}}yoriqlarni samarali ravishda olib tashlashi, o'tkazuvchan gofretlarning sirt mikroskopik morfologiyasini optimallashtirishi va gofretning elektr o'tkazuvchanligi va issiqlik barqarorligini sezilarli darajada yaxshilashi mumkin. Barqaror mexanik tuzilma va aqlli yopiq pastadir boshqaruv tizimi seriyali ishlab chiqarishda mukammal takrorlanuvchanlik bilan izchil ishlov berish natijalarini ta'minlaydi.
2. Yarim{1}}Avtomatik hamkorlikda ishlash, yuqori samaradorlik va moslashuvchanlik
Uskunalar oqilona yarim{0}}avtomatik ishlash mantiqini qabul qiladi. Oziqlantirishning avtomatik joylashishini aniqlash, doimiy{2}}tezlikda silliqlash, doimiy-bosim bilan jilolash va onlayn aniqlash jarayonlari avtomatik ravishda yakunlanadi, bu esa qo'lda ishlash havolalarini kamaytiradi va ishlab chiqarish samaradorligini oshiradi. Shu bilan birga, u qo'lda sozlash va favqulodda aralashuv funktsiyalarini saqlab qoladi, bu texniklar uchun gofret spetsifikatsiyalari, materialning qattiqligi va ishlov berish talablariga muvofiq ishlov berish parametrlarini sozlash uchun qulaydir. U standart elektr o'tkazuvchan gofretlarni ommaviy ishlab chiqarish uchun ham, maxsus{7}}xizmatlarga ega bo'lgan kichik{6}}partiyali moslashtirilgan ishlov berish uchun ham mos keladi, bu esa to'liq-avtomatik uskunaning qo'llanilishida yagona va an'anaviy uskunaning mehnatni talab qiladigan- muammosini hal qiladi.
3. Qayta ishlash materiallari va spetsifikatsiyalarning keng muvofiqligi
Ushbu nozik silliqlash va parlatish uskunasi monokristalli kremniy, polikristalli kremniy, germaniy gofretlari, galliy arsenid va litiy niobat kabi umumiy o'tkazuvchan yarimo'tkazgichli materiallarni qoplaydigan kuchli material moslashuvchanligiga ega. U kichik{1}}oʻlchamdagi tajriba namunalaridan tortib yirik-oʻlchamdagi sanoat gofretlarigacha boʻlgan bir nechta oʻlchamdagi gofretlarni qayta ishlashni qoʻllab-quvvatlaydi va turli qalinlikdagi oʻtkazuvchan gofretlarni yupqalash va koʻzgu pardalash talablariga moslasha oladi. U ultra yupqa gofretli nozik yupqalash yoki an'anaviy gofret sirtini jilolash bo'ladimi, u mukammal ishlov berish effektlariga erisha oladi.
4. Intellektual monitoring va past operatsion xarajat
Uskuna aqlli inson{0}}mashina oʻzaro taʼsiri tizimi bilan jihozlangan boʻlib, u gofret qalinligi, ishlov berish tezligi, bosim qiymati va qolgan ishlov berish vaqti kabi real vaqtdagi ishlov berish maʼlumotlarini-koʻrsatishi mumkin. U haddan tashqari yukdan himoya qilish, bosim anormalligi signalizatsiyasi va uskunaning nosozliklarini o'z-o'zini aniqlash- kabi bir nechta himoya funktsiyalariga ega, bu esa uskunaning ishdan chiqishi va qayta ishlash tezligini samarali kamaytiradi. Optimallashtirilgan konstruktiv dizayn abraziv materiallar va mexanik qismlarning yo‘qotilishini kamaytiradi, yarim avtomatik rejim esa mehnat xarajatlarini sezilarli darajada tejaydi, bu esa korxonalarga pastroq ishlab chiqarish xarajati bilan yuqori{6}}aniq ishlov berish effektlarini olish imkonini beradi.
Asosiy dastur stsenariylari
Supero'tkazuvchi gofretlar uchun yuqori aniqlikdagi ishlov berish qurilmasi sifatida ushbu uskuna yarimo'tkazgichli gofret ishlab chiqarish, quvvatli yarimo'tkazgichli qurilmalar ishlab chiqarish, optoelektron chiplarni qayta ishlash, laboratoriyada aniq namunalar tayyorlash va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi. IGBT, MOSFET, fotovoltaik hujayralar va sensor chiplari uchun zarur bo'lgan Supero'tkazuvchilar substrat gofretlarini nozik silliqlash va parlatish uchun maxsus mos keladi. U o'tkazuvchan gofretlarning sirt sifati va o'lchov aniqligini samarali ravishda yaxshilashi, keyingi yarimo'tkazgichli qurilmalarni qadoqlash va sinovdan o'tkazish uchun mustahkam poydevor yaratishi va quyi oqim tarmoqlariga mahsulotning ishlashi va bozor raqobatbardoshligini yaxshilashga yordam berishi mumkin.
Tez-tez so'raladigan savollar (tez-tez so'raladigan savollar)
1-savol: Ushbu uskuna qayta ishlash uchun qaysi turdagi o'tkazuvchan gofretlarga mos keladi?
A1: Uskunalar monokristalli kremniy, polikristalli kremniy, germaniy, galliy arsenid, silikon karbid, litiy niobat va boshqa o'tkazuvchan kristall materiallarni o'z ichiga olgan asosiy o'tkazuvchan yarim o'tkazgichli gofretlarga mos keladi. U yarimo‘tkazgichlar, optoelektronika va quvvat qurilmalari uchun standart va maxsus -o‘tkazuvchan plastinalarni nozik noziklashtirish va oynani jilolashni qo‘llab-quvvatlaydi.
2-savol: Uskunani qayta ishlashning aniqligi qanday? U chip ishlab chiqarishning yuqori-standartlariga javob bera oladimi?
A2: Uskunalar ultra-past sirt pürüzlülüğü va yuqori umumiy tekisligi bilan ±1 mkm qalinlikdagi ishlov berish bardoshliligiga erishadi. U gofretlarning sirt shikastlangan qatlamini butunlay olib tashlashi, yuqori quvvat chiplari, optoelektron mikrosxemalar va yarimo'tkazgichli datchik qurilmalarining aniq ishlov berish talablariga to'liq javob beradi-va sanoatning yuqori-standart ishlov berish darajasiga etadi.
3-savol: Yarim avtomatik rejimning toʻliq avtomatik va qoʻlda ishlaydigan uskunaga nisbatan qanday afzalliklari bor?
A3: Qo'lda ishlaydigan asbob-uskunalar bilan solishtirganda, u yuqori ishlov berish aniqligi, yaxshi mustahkamlik va yuqori ishlab chiqarish samaradorligiga ega va inson faoliyatidagi farqlardan kelib chiqqan ishlov berish xatolaridan qochadi. Toʻliq avtomatik uskuna bilan solishtirganda, u arzonroq xarid qilish va texnik xizmat koʻrsatish xarajatlariga ega, parametrlarni sozlashda moslashuvchan va kichik{2}}partiyaga moslashtirilgan qayta ishlash va eksperimental namunalarni qayta ishlash stsenariylariga, kengroq qoʻllash stsenariylariga va yuqori xarajat koʻrsatkichlariga moslasha oladi.
4-savol: Uskunalar turli xil gofret materiallari uchun moslashtirilgan ishlov berish parametrlarini qo'llab-quvvatlaydimi?
A4: Ha. Uskunada sozlanishi parametr tizimi mavjud. Mutaxassislar turli xil o'tkazuvchan gofret materiallarining qattiqligi, qalinligi va ishlov berish talablariga muvofiq silliqlash tezligi, abraziv bosimi, ishlov berish vaqti va abraziv dozasi kabi ishlov berish parametrlarini mustaqil ravishda o'rnatishi va saqlashi mumkin, turli mahsulotlarni moslashtirilgan aniq ishlov berishni amalga oshiradi.
5-savol: Uskunaga qanday kundalik parvarish kerak? Operatsiya qiyinmi?
A5: Uskuna modulli va{1}}ta’mirlash oson{2}}tuzilishga ega. Kundalik parvarishlash faqat polishing diskini muntazam tozalash, sensorning sezgirligini tekshirish va sarf materiallarini to'ldirishni o'z ichiga oladi. Insonning{5}}mashina oʻzaro aloqasi interfeysi oddiy va intuitiv boʻlib, bitta tugmachani ishga tushirish va avtomatik ishga tushirish funksiyalariga ega. Operatorlar oddiy mashg'ulotlardan so'ng asosiy operatsiya ko'nikmalarini egallashlari mumkin va operatsiya chegarasi past.
6-savol: Uskunalar oʻta yupqa oʻtkazuvchan gofretlarni buzilmasdan yoki shikastlanmasdan qayta ishlay oladimi?
A6: Ha. Bo'lingan yagona-bosimli polishing texnologiyasi va real-vaqt bosimini yopiq-panaqa sozlash tizimi bilan jihozlangan uskuna ishlov berish jarayonida gofret yuzasida bir xil kuchlanishni amalga oshiradi. U ultra yupqa gofretlarni qayta ishlash jarayonida-buzilishi, chetlari parchalanishi va mikro{6}}yorilishlarning oldini oladi, ishlov berilgandan keyin ultra yupqa o'tkazuvchan gofretlarning yaxlitligi va tekisligini ta'minlaydi.
