Qanday aniqlik poligonni poligonning ishlashini qo'llab-quvvatlaydi
Belgilangan ishlab chiqarish dunyosida, xususan yarimo'tkazgich va optik uy-joylashtirish, kimyoviy mexanik tekislash (CMP) benuqson, ultra - - yassi yuzalar. Har bir smp jarayonining markazida poligo sun'iy ravishda yostiqchani, oddiy oddiy tarkibiy qismni, uning ish joyi yakuniy mahsulot sifatini ta'kidlaydi. Biroq, prosiv yostiq uzoq vaqt davomida samarali bo'lmaydi. - mahsulotlar va sirt deformatsiyalari bilan yopishib olish, yuz o'girilishi muqarrar muammolardir. Bu erda aniq konditsioner parvarishlash bosqichida emas, balki izchil yadro ishlashining ajralmas vasiysi sifatida paydo bo'ladi.
Challenge: Pad emirilishi
Polishing paytida, plataning yuzasi sezilarli o'zgarishlarga duch keladi:
Yopish:- mahsulotni - mahsulotni - Mahsulotlar yostiqning yuzasiga mikroskopik o'simliklar va yostiqlarni to'ldiradi.
Sirt tekislash:Pirsabiralashning mexanik ta'siri podpolkovnikning kalografiyasini (mayda cho'qqilar) yoddan yotgan holda, topografiyasini tekislaydi.
Sirlangan va tekislangan post uning muhim funktsiyalarini yo'qotadi: endi u endi yangi plitani gofrirlash yoki sarflangan atala va qoldiqlarni olib tashlay olmaydi. Natijada moddiy-{1}}}} -} -} -} -} -} - - bo'lmaganda, hosildorlikning bir turi.
Aniq konditsioner: yadro printsipi
Konditsioner - bu ixtisoslashgan vositasi bilan yostiqning sirtini ataylab cho'zish jarayoni, odatda olmos zarralari bilan bezatilgan disk. Uning asosiy maqsadi podshoning optimallari optimal sirt morfologiyasini doimiy ravishda qayta tiklaydigan ta'sirga qarshi turish. "Tekshiruv" holati buni past darajadagi kuch, aylanish tezligi, supurish chastotasi va konditsioner dizayni bilan ajralib turadigan salbiy parametrlar bilan tavsiflanadi.
Bu aniq aralashuvi qanday qilib engil aralashuv piktogrammaning ishlashini anglatadi:
1. Optimal sirt topografiyasini tiklash
Konditsionerning keskin olmoslari mikroskopik ravishda podsho polimerining yuzasi, yangi groovlar va re - teshiklarini kesib tashladi. Ushbu jarayon slurryni boshqarish uchun asosiy, teksturlangan sirtni yaratadi. To'g'ri shartli pad, gofroriy orqali bir xil bo'laklarni taqsimlashni ta'minlaydi, u izchil kimyoviy reaktsiya va mexanik aşınmaga olib keladi.
2. Yangi abraziv sirtni ochish
Belgilangan skurry qoldiqlari qatlamini olib tashlash orqali, konditsioner yangi, faol pad yuzasini ochadi. Ushbu yangilanish barqaror va oldindan aytib bo'lmaydigan materialni olib tashlash stavkasini (MRR) ta'minlash uchun juda muhimdir. Busiz, MRR, nazoratsiz jarayonni amalga oshirib, bir nechta guldan keyin hosil bo'ladi.
3. Xizmatning hayotini boshqarish va xizmat ko'rsatish muddati
Muddatli moddiy, aniq qoidalarni olib tashlashni olib tashlaydi, bu olib tashlash bu tekis va minimaldir. Poyafralish mumkin bo'lmagan o'zaro ta'sirlar orqali podpolkovnik kiyishning o'rniga, konditsioner boshqariladigan, izchil kiyish naqshini o'rnatadi. Bu ifloslanishning paydo bo'lishi, ichi bo'sh yoki boshqa -} -} {{2} bo'lmagan} {{2} bo'lmagan} {{2} bo'lmagan}} birodarlar paydo bo'lishiga to'sqinlik qiladi, shu bilan iste'mol qilinadigan xarajatlarni sezilarli darajada kengaytiradi va iste'mol qilinadigan xarajatlarni kamaytiradi.
4. Jarayon barqarorligi va takrorlanishi
Tekshiruvning asosiy qiymati uning jarayon barqarorligiga hissasi bilan bog'liq. Tasvirni "{3}}"- "-" - "-" - "-" - "{{}} {{{}} {{{}}" {{{}} {{{}} {{{}} {{{}} {{{}} {{{}} {{{}} "{{{}}" {{{}} {{{}} {{{}} ni o'z ichiga oladi. Ushbu takrorlash qalinligi, tekislik va nuqson zichligi kabi parametrlar uchun qat'iy xususiyatlarga erishish uchun asosiy xususiyatlarga ega bo'lish uchun fundamental.
Aniq jarayonning asosiy parametrlari
Ushbu imtiyozlarga erishish, bir nechta omillar ustidan ehtiyotkorlik nazoratini talab qiladi:
Kuchli kuch:Konditsioner tomonidan qo'llaniladigan bosim. Juda kam kuch samarasiz regeneratsiyada keltirilgan; Juda ko'p plash kiyadi va haddan tashqari qoldiqlarni keltirib chiqarishi mumkin.
Profilni supurish:Konditsioner pro radiusi bo'ylab harakatlanadigan naqsh va tezlik. Optimallashtirilgan supurish - - markaziy o'zgarishi uchun - chetiga egalik qilmaydigan butun podshoning butun o'zgarishini ta'minlaydi.
Olmos panjasi va naqsh:Olmosning o'lchamlari, shakli va taqsimoti konditsionerga konditsionerning keskinligi va tugatishini aniqlaydi. O'ng konfourni tanlash Pad turi va jarayon talablariga xosdir.
Xulosa
Yuqori - CMP muhiti, poyaching yostig'i statik vositadir emas, ammo faol boshqarilishi kerak bo'lgan dinamik yuza. Aniq konditsioner bu muhim funktsiyani bajaradigan murakkab intizom. It transforms the pad from a consumable item with a rapidly decaying performance into a stable, predictable, and long-lasting platform for production. Topografiyani sinchkovlik bilan tiklash orqali, aniqlikdagi axlatni tozalash va ta'mirlash nafaqat yostiqning ishlashi, shuningdek, zamonaviy ishlab chiqarish talablarini ta'minlaydi.
