Valyut tizimini sotib olishda baholash uchun asosiy xususiyatlar
Mexanik tekislash mexanik tekislashuvi
- CMP) tizimi har qanday yarimo'tkazgichlar uchun muhim kapital tuzilmasi hisoblanadi. To'g'ri tizim mahsulot ishlab chiqarish, qurilmalarning ishlashi va uzoq vaqt {{- awortion qiymatiga to'g'ridan-to'g'ri ta'sir qiladi. Texnologik tugunlar bilan -}}} Digit Nanometer oralig'ida qisqarish davom etayotgan bo'lsa, CMP aniqligi talablari bundan katta bo'lmagan.
Ma'lum bir qaror qabul qilish uchun muhandislar va xaridlar bo'yicha mutaxassislar bir nechta muhim texnik xususiyatlarni diqqat bilan baholashlari kerak. Ushbu qo'llanma ko'rib chiqish uchun eng muhim parametrlarni anglatadi.
1. Jarayon qobiliyati: aniqlik va ishlash
Ushbu turkumda tizimning kerakli sirtni va laftyatsiyani qoplash qobiliyatini belgilaydi.
Tanalospillik ravshanligi:Bu CMPning asosiy vazifasi.
- WEFSE - bir xillik (Wiwnu) da:Bitta to'rli qalinlikdagi qalinlikning o'zgaruvchanligini o'lchaydi. Kichik Wiwnu foizi yuqori darajadagi jarayonning bir xilligini ko'rsatadi.
Wevfer - {{1} wastle - ga tenglik (wtwnu):Ovozli ishlab chiqarish uchun eng tanqidiy va balandligi uchun tanqidiy, eng tanqidiy ravishda birdan paketni partiyaning biridan olib tashlashni o'lchaydi.
Olib tashlash darajasi:Odatda Å / metr yoki nm / min otgan materiallar uchun rioya qilingan stavka. Yuqori olib tashlash stavkalari, masalan, bir xillik hisobidan emas.
Tanlovchilik:Maqsadli plyonkaning oqilg'i quyish tezligining quyi qatlam yoki to'xtash joyi - qatlamiga nisbati. Eroziyani oldini olish yoki rad etishning oldini olish uchun yuqori saralashning yuqori sari intilish.
2. Platforma. Platforma arxitekturasi va hisobi
Ushbu xususiyatlar tizimning qobiliyatini va fab ishlab chiqarish liniyasiga mos keladi.
Mahsulot (soatiga ko'zlar
- Wmp): soatiga ishlov berilgan gofretlar soni. Bu mahsuldorlikning to'g'ridan-to'g'ri o'lchovidir. Taklif qilingan mahsulotning barqarorligini ta'minlash standartiy jarayon sharoitida barqarorligini ta'minlash va yuklash / tushirish va sozlash va sozlash uchun qo'shimcha xarajatlarni o'z ichiga oladi.
Multi - bosh / ko'p {{{{{{{{{- platinni dizayni:Eng zamonaviy tizimlar bir nechta polishing boshlari va platens mavjud.
Yolg'izYagona - bosh / ko'p - platen:Bir nechta jarayonlarni (masalan, qo'pol va nozik polyash) bitta platformada ruxsat beradi.
Multi - bosh / singli - platen:Bir vaqtning o'zida bir nechta gofretlarni parallel qayta ishlashni yoqadi.
WEFFELE o'lchamingiz mosligi: vosita sizning ehtiyojlaringizni (200 mm, 300mm) qo'llab-quvvatlaydi va 450 mm kabi kelajak talablari uchun oldinga yo'l qo'yadi.
3. Saylovli sayqallash boshi va tashuvchi texnologiyasi
Oralash boshi - bu ovchilik bilan interfeys bo'lib, bir xil bosimni taqsimlashga erishish uchun fundamental.
Bosimni boshqarish:Ilg'or, ko'p - zonaviy bosimni boshqarish tizimlarini qidiring. Bular Valferning markazida, o'rta va chekkadagi bosimni mustaqil nazorat qilishga imkon beradi, bu esa -} - № {{}} bo'lmagan tartibda vaqtni o'zgartirish.
Qatratlar uzatish dizayni:Lazzatni ushlab turadigan uzuk. Uning materiallari, qarshiligi va dizayni sezilarli ta'sirini istisno qilish (vojik perimetri bilan yaroqsiz hudud).
Tashuvchi film surati filmi:Bosh va gumburcha orasidagi mos membrana. Uning xususiyatlari siquvga qanday yuqishiga ta'sir qiladi va turli jarayonlarda sozlanishi mumkin.
4. Slurri va kimyo menejmenti
Muddatli etkazib berish va iste'mol materiallarini boshqarish jarayoni barqarorligi va xarajatlarini nazorat qilish uchun juda muhimdir.
Birlashtirilgan slurry etkazib berish tizimi:Ishonchli, pulse - bir nechta shekilli va qo'shimchalar (masalan, oksidlovchilar, korroziklar, korroziyh inhibitorlar) ni aniq oqimini boshqarish va aralashtirish qobiliyatiga ega bo'lgan bepul tizim.
{{0} - - aksillash:Slurry tarkibiy qismlarini ular bilan bog'lab qo'yishdan oldin, jarayonning mustahkamligini yaxshilaydigan va ari - mikroavtobus bo'shliqlarini kamaytiradi.
Valofa uchun sarflanadigan xarajatlar:Tizimning atala va yostiqdan foydalanish samaradorligini baholang. Yopiq - pasttekislik tizimlari yoki past - oqim dizaynlari uzoq vaqt -} oqimlarini taklif qilishi mumkin.
5. - Situ metrologiya va rivojlangan boshqaruv
Etakchi - chetida jarayonlar, haqiqiy {{1} {{1} {{1} {{1} {{1} {{1} {{1} Vaqt monitoringi va nazorat endi majburiy emas.
Chegirani aniqlash:Optik, motorli oqim yoki Edmal oqimlardan foydalanadigan tizimlar, bitta qatlam tozalangan va boshqasi ochilganda aniq daqiqani aniqlash uchun tizimlar. Bu - polishing va hosildorlikni yaxshilashiga to'sqinlik qiladi.
Integratsiyalashgan metrologiya:O'lchov vositalarini (masalan, qalinligi va sirt topografiyasi uchun) cmp platformasida qo'shilishi. Bu bevosita fikr-mulohaza va tuzatish choralarini mustaqil metrologiya stantsiyasiga aylantirmasdan, vinosni o'zgartiruvchi va tsiklni qisqartirish imkonini beradi.
6. Ishonchlilik, texnik xizmat ko'rsatish va qo'llab-quvvatlash
Agar u tez-tez uchraydigan bo'lsa, texnik jihatdan porloq mashina foydasizdir.
Muvaffaqiyatsiz hodisalar orasidagi vaqt (MTBF) va ta'mirlash vaqti (MTTR):Ishonchlilik va ularning davomiyligi uchun asosiy oylar. Sotuvchidan tarixiy ma'lumotlarni so'rang.
Izlar va ob'ekt talablari:Toza xonalar, vazni va kommunal aloqalar (quvvat, CDA, UPW, Izut) kerakligini ko'rib chiqing.
Sotuvchini qo'llab-quvvatlash va xizmat ko'rsatish:Sotuvchining global qo'llab-quvvatlash tarmog'ini, ehtiyot qismlarning mavjudligini va texnik ekspertizadan o'tkazing. Kuchli xizmat to'g'risidagi bitimlar ishlab chiqarish to'xtatilishlarini minimallashtirish uchun juda muhimdir.
Xulosa
Valyut tizimli tizimini tanlash yaxlitlik samaradorligi va uzoq vaqt davomida ishlash samaradorligi va uzoq muddatli ishtiyoqli spektakllarni muvozanatlashtiradigan yaxlit yondashuvni talab qiladi. O'zingizning asosiy yo'nalishli xususiyatlarga ega {{4} {}} {}} {}} {}} zonasi bo'yicha asosiy texnik xususiyatlarini batafsil baholab, "{4} {}}" bosh direktori "{{}}" bosh direktori, shuningdek, bugungi kunda o'tkaziladigan smetal iste'molchilarning talablariga javob berishi mumkin. Tizimning ishlashini tasdiqlash uchun tizimning ishlashini tasdiqlash uchun har doim muayyan jarayon retseptlari bilan ishlaydigan namoyishlarni talab qiladi.
