Hosildorlik va ttv takomillashtirilganligi uchun sizning lapping jarayonini qanday optimallashtirish kerak
Silikon, safir va Gallium kabi pastki substratlar ishlab chiqarishda halqa va parlatish orasidagi kritik bir qadam bo'lib xizmat qiladi. Uning asosiy maqsadi - tezkor sub'ektlar shikastlanishini kesish, sirt tekisligini yaxshilash va qattiq nazorat qilinadigan maqsadli qalinlikka erishish. Muvaffaqiyatli laping jarayonining asosiy o'lchovi ikkita asosiy metrda joylashgan: yuqori ishlab chiqarishYo'l beringva ustunUmumiy qalinlik o'zgarishi (TTV).
Optimal darajadagi optimallashtirilgan lapping jarayoni noaniqlikni, mikro - yoriqlar va haddan tashqari qalinlikning o'zgarishi (1}} - -} -}} yoki qurilma to'qimalari kabi katastrofik etishmovchiligini keltirib chiqarishi mumkin. Ushbu maqolada TTVni ko'paytirish va minimallashtirish uchun sizning lapping jarayonini optimallashtirish uchun tizimli yondashuvni bayon qiladi.
Asosiy maqsadlarni tushunish: hosildor va TTV
Yo'l bering:Shu nuqtai nazardan, hosildorlik qalinligi, ttv va sirt sifati uchun barcha texnik xususiyatlarga ega bo'lgan va qayta ishlanmasdan, barcha xususiyatlarga ega bo'lgan lapers foizini anglatadi.
Umumiy qalinlik o'zgarishi (TTV):Bu tanqidiy parametr, bu gofretning tekisligini aniqlash. Bu butun votorning eng yuqori va minimal qalinligi o'rtasidagi farq. Keyingi fotolitografiya va peshinlarda turllikni ta'minlash uchun past TTV juda muhimdir.
Shunday qilib, optimallashtirish har o'zgaruvchini engil va shikastlanish bilan izchil, tekis yig'gichlarni ishlab chiqarish uchun harakat qiladi.
Lapping optimallashtirish uchun asosiy parametrlar
1. Bosimni boshqarish: muvofiqlik asoslari
Amaliy bosim, ehtimol eng ta'sirchan parametrdir. Haddan tashqari bosim materialni olib tashlash stavkasini oshiradi (MRR), ammo og'ir narxda:
Yuqori TTV:Bu ingichka ingichka wafers va tashuvchi armaturalarda notekis kiyilishga olib kelishi mumkin.
Hosildorlik kamligi:Bu chuqur - sirt shikastlanishini keltirib chiqaradi, sinish xavfini oshiradi va kuchayib boraveradi va shu bilan qimmatbaho substratni amalga oshiradi.
Optimallashtirish strategiyasi:Ko'p - bosqich bosimi profilini amalga oshiring. Ommaviy olib tashlash uchun biroz yuqori bosim bilan boshlang va asta-sekin pastga, pardoz bosimiga asta-sekin pastga tushing. Ushbu oxirgi past {{3} bosim darajasi "{4}} lapping" uchun "Kiss Lisping" uchun "Kiss Lating" uchun "TTVni" yangi zarar etkazmasdan minimallashtirish uchun ".
2. Slurry boshqaruvi: Kesish mexanikasi
Avaziv atala {{0} {{0} {{0} {{0} {{0} {ALUINA, Silikon Carbide) - ehtiyotkorlik bilan boshqarilishi kerak.
Aşındırıy & O'lchov:Cagerer grits materialni tezroq olib tashlang, ammo chuqur tirnalish va yuqori ttvni qoldiring. Finer Forits sirtni tugatish va ttv, ammo sekin, mrrni yaxshilaydi. Umumiy strategiya - bu qo'pol / nozik gitlar ketma-ketligidan foydalanish.
Slurry kontsentratsiyasi va oqim stavkasi:Nomuvofiq konsentratsiya MRR va Bechora TTV o'zgaruvchanligiga olib keladi. Uzluksiz, yaxshi - aralashgan atala oqimi "ochlik" ni oldini olish, "ochlik" ni oldini oladi, bu notekis kiyishni keltirib chiqaradi. Avtomatlashtirilgan dozalash tizimlari juda tavsiya etiladi.
3. Tashuvchi va ishlarni olib boruvchi armitlar: geometrik yaxlitlikni ta'minlash
Oyoqlarni ushlab turadigan lapping tashuvchisi, tepaliklar bilan mukammal parallelizmni saqlab turishi kerak.
Shartli ravishda:Eskirgan yoki buzilgan tashuvchilar - bu kambag'al TTVning asosiy sababidir. Doimiy ravishda tekshiring va ular tekis va haqiqat ekanligini ta'minlash uchun mashina tashuvchilar.
Qulfning uzuklari:BMT - qo'llab-quvvatlangan ohangdorlar, to'g'ri o'lchamdagi va saqlanadigan uzuklar suvning aylanishini oldini oladi, bu esa hosildorlikni amalga oshiradi.
4. Plastinka tekisligi va konditsionerlik
Lapping plitalar o'zlarini juda tekis tekis bo'lishi kerak. Vaqt o'tishi bilan ular nomuvofiqlik bilan kiyishadi, global darajada tekislikdan mahrum bo'lish va TTVni barcha qayta ishlangan g'alayonlar bo'ylab ko'paytirishdi.
- shartnomasi:Qayta ishlash paytida maxsus konditsioner uzuk yoki plitalardan foydalaning.
Rejalashtirilgan re - Surface:Vaqti-vaqti bilan, tizza plitalari {{0} {{1} {{1} {{1} {{1} {{1} {{1} {{1} - bo'lishi kerak.
5
Siz hech qanday qilmagan narsani boshqara olmaysiz. La - Transfer Recrologiya rejimeni - nogiron emas.
PostPost - tizzada o'lchash:Har bir to'rni - ixtisoslashganidan keyin darhol qalinlik va TTV orqali o'lchash kerak.
Ma'lumotlar tahlili: TTV va qalinlik tendentsiyalarini kuzatish uchun statistik jarayonni boshqarish (SPC) jadvallaridan foydalaning. TTV ko'tarilgan tendentsiya tashuvchi kiyish, plastinka tekisligi yoki slurry kontsentratsiyasi bilan bog'liq muammolar belgisi.
- - Qisqa optimallashtirish ish jarayoni
1. Boshlang'ich baholash:Hozirgi ish faoliyatini (hosildorlik, o'rtacha TTV, qalinligining standart og'ishi) o'lchash.
2. Cheklash omilini aniqlang:Asosiy muammo TTV, sirt tirnalgan yoki qalinligi nomuvofiqlikmi? Parchalarni tahlil qiling va qayta ishlang.
3. Tizimli Doe (tajribalar dizayni):Bir vaqtning o'zida yakka holda bitta o'zgaruvchini o'zgartirmang. Buning o'rniga, MRR va TTV-dagi bosim, platin tezligi va atala oqim darajasi kabi o'zaro ta'sirni tushunish uchun tuzilgan doani ishga tushiring.
4. Amalga oshiring va aniqlang:Doe natijalariga asoslanib, yangi, optimallashtirilgan retseptni yarating. Barqarorlik va takrorlanishga e'tibor qarating.
5. Boshqarish va monitor:Yangi sozlamalarni standart ish tartibiga (SOP) rasmiylashtirish. - - - -} o'lchovlari bo'yicha aniq nazorat rejimlari va javob rejalari bilan imkoniyatlar.
Xulosa
Lapping jarayonini optimallashtirish - bu moddiy materialni olib tashlaydigan yaxlitlik harakatidir. Bu mexanik parametrlar, sarf materiallari va asboblar va asboblar o'rtasidagi o'zaro bog'liqlikni chuqur anglashni talab qiladi. Belgilangan tazyiqlarni nazorat qilish, izchil slurry menejment, ta'sirchan ish olib boruvchi va jiddiy jarayon monitoringi, ishlab chiqaruvchilar o'zlarining lapping jarayonini ishonchli, yuqori - ishlab chiqarishni ishonchli, yuqori - ishlov berish jarayonini o'zgartirishi mumkin. Mukofot nafaqat suticor ttv va pasaytirilgan, ammo keyingi barcha ishlab chiqarish bosqichlari uchun, oxir-oqibat yuqori darajadagi - yuqori mahsulotlar va sog'lom suv chizig'ini bajarishga olib keladi.
